“我們的課堂在無塵車間，課題就是企業的研發難題研究生。”6月中旬，上海海洋大學首屆積體電路專項班研究生胥沛雯和周正剛剛脫下碩士袍、參加完畢業典禮，就帶著一份格外特別的“畢業成績單”前往上海邦芯半導體。
就在不久前，他們帶著兩年半紮根企業一線攻克國產晶片製造“卡脖子”工藝的實戰成果，在一場設於企業內部的碩士學位論文答辯會上，贏得了高校教授和國家級行業專家的全票透過，成為上海海洋大學首批以實踐成果申請並獲授碩士學位的專業碩士研究生。
打造產教融合“海大方案”
“一代裝置，一代工藝，一代晶片”研究生。在全球科技競爭日趨白熱化的今天，高階製造裝備自主可控已成為我國實現科技自立自強的核心關鍵。上海海洋大學與邦芯半導體強強聯合，緊密圍繞國產關鍵機臺底層技術需求打造積體電路專項班，正是肩負“大國重器、自主突圍”時代使命的生動實踐。
專項班深度對接《支援臨港新片區加大先行先試探索深化產教融合城市建設若干措施》與《上海高等教育質量提升十大專項計劃實施方案（2023—2026年）》要求，堅持“把企業真實痛點作為畢業課題，把實戰裝置工藝突破作為畢業答卷”，探索形成了可複製、可推廣的產教融合工程碩博士培養“海大方案”研究生。
無塵車間裡“煉”出真本事
首屆專項班的兩位同學自2024年3月加入聯合培養專案以來，便一頭扎進邦芯半導體的無塵車間，將課題直指制約國產裝置突圍的最前沿技術盲區，在真實的產業環境中淬鍊解決複雜工程問題的真本領研究生。
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胥沛雯深耕深矽刻蝕研究生，為三維先進封裝破題
胥沛雯啃的“深矽刻蝕”這根硬骨頭是三維先進封裝的關鍵工藝，稍有不慎就會出現側壁缺陷、加工效率上不去研究生。在許競翔教授和王士京博士指導下，他依託邦芯自研的“Topaz”深矽刻蝕機，泡在車間裡反覆除錯引數，手指在裝置面板上飛舞了成百上千次，最終自主開發出原位平滑工藝，還提出了等效開口率負載模擬法。兩年半下來，他硬是“攢”出了6項發明專利，交出了一份讓企業專家都豎起大拇指的實戰答卷。
周正潛心鎢金屬填充，為先進製程互連攻關
周正則“鑽”進了鎢金屬填充的世界研究生。在褚振華教授和塗樂義博士指導下，他另闢蹊徑，從裝置底層控制架構“動手術”，引入可程式設計邏輯控制器和可控矽調壓器，把傳統裝置的“反應慢”“溫度飄”的毛病一一治服。他開發的低阻鎢微孔填充工藝，硬是在低電阻、高填充率和量產效率之間找到了那個“黃金平衡點”，還拿下了2項授權發明專利。
從車間答辯走向產業舞臺
為全方位評估專項班學生的培養質量，本次答辯委員會由張江實驗室、上海邦芯半導體及外部行業資深專家共5人組成，嚴格按照專業工程碩士培養標準進行評審研究生。答辯過程中，兩位同學不僅系統闡述了工藝方案設計、產線機臺驗證、研究結論突破的完整工程實踐鏈條，更針對答辯委員會提出的核心工藝產業化前景、裝置實際執行狀況、工程落地價值等實戰問題，給出了條理清晰、專業紮實的解答。經閉門評議並無記名投票，答辯委員會一致認為，兩名同學的學位論文達到了專業工程碩士研究生水平，其展現出的解決複雜工程問題的能力和產業實踐素養得到了專家們的高度評價。
將學位論文答辯現場“搬”進企業，是上海海洋大學落實《中華人民共和國學位法》要求、推進研究生教育評價改革的重要舉措研究生。這一模式打破了傳統“唯論文”的評價體系，樹立了“以實踐成果為核心、以產業貢獻為導向”的工程人才評價新標準，實現了人才培養與產業需求的無縫銜接。
校方透露，未來將繼續攜手邦芯半導體等行業頭部企業，秉持“產教融通、協同育人”理念，讓更多學生在無塵車間的“煙火氣”中成長研究生。
