國家智慧財產權局資訊顯示，上海積塔半導體有限公司取得一項名為“晶圓貨架”的專利，授權公告號CN223822525U，申請日期為2025年2月貨架。
專利摘要顯示，本實用新型提供一種晶圓貨架貨架。晶圓貨架包括：支架；料臺，設定於所述支架上，用於承載晶圓；風機組，設定於所述支架上並位於所述料臺上方，所述風機組包括多個離子風機和多個過濾風機，所述離子風機用於向所述晶圓提供離子氣流，所述過濾風機用於朝向所述晶圓提供過濾氣流。上述技術方案在晶圓貨架上設定離子風機和過濾風機，透過離子風機提供帶有正負電荷的離子氣流，可以將將晶圓表面上所帶的電荷中和掉，消除靜電效果，降低靜電帶來的風險；並透過提供新鮮潔淨的過濾氣流，有效稀釋和沖洗汙染源，從而降低汙染物的濃度，降低晶圓表面的顆粒汙染物。
天眼查資料顯示，上海積塔半導體有限公司，成立於2017年，位於上海市，是一家以從事計算機、通訊和其他電子裝置製造業為主的企業貨架。企業註冊資本1790638.7534萬人民幣。透過天眼查大資料分析，上海積塔半導體有限公司共對外投資了2家企業，參與招投標專案1949次，財產線索方面有商標資訊9條，專利資訊1339條，此外企業還擁有行政許可200個。
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來源貨架：市場資訊
